表面粗糙度的标准化工作是从三十年代开始发展起来的，和形位公差一样，也是首先从解决图样标注的统一开始的。前联邦德国标准DIN140发布于1939年，是世界上最早的有关表面粗糙度方面的标准。这个标准只规定表面粗糙度的符号，把需要加工的表面分为▽、▽▽、 ▽▽▽、▽▽▽▽ ，不需要加工的表面用符号∽表示。由于没有参数标准，因此各个符号均无既定的数值，而是凭目测加以区分。

最早制订表面粗糙度参数标准的是美国，它于1940年发布了美国标准ASAB46.1—1940

我国的表面粗糙度标准的制订工作是从五十年代初开始的。1951年颁布的中华人民标准620.040—13《工程制图表面记号及处理说明》。1981年到1982年期间对GB/T131—1974进行了修订，经过修订后的标准改为三个标准，即GB/T1031—1983《表面粗糙度 参数及其数值》、GB/T3505—1983《表面粗糙度 术语 表面及其参数》和GB/T131—1983《表面粗糙度 代号及其注法》。随着我国加入WTO 和与国际标准接轨，1993年又对GB/T131—1983进行了修订，主要对表面粗糙度参数Ra、Rz、Ry的上（下）限值和最大（小）值加以区分，指出了在什么情况下用最大值，什么情况下用最小值。GB/T131—1993《表面粗糙度符号、代号及其注法》一直沿用至今。

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